型 号（Model）: PM5+Keithley 4200 SCS
生产商（Manufacturer): SUSS+Keithley
用 途（Applicatio）: 用于半导体参数及器件特性测试(To measure the parameters of semiconductors and devices)
主要参数（Main Parameters):
I-V measurement: 0.1fA~100mA; 1mV~200V; 4 SMU unit
C-V measurement: 20Hz ~2MHz
Hall effect measurement
High resistant measurement: >100MΩ
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