型 号（Model）: MUE-ECO
生产商（Manufacturer): 日本ULVAC公司(ULVAC Technologies, Inc., Japan)
用 途（Applicatio）:
纳米量级的金属薄膜及部分介质薄膜的制备。
Preparation of metallic and some dielectric films in thickness of nanometers.
主要参数（Main Parameters):
本底真空(Ultimate Pressure): 5×10-6 Pa
衬底加热温度(Substrate Temperature): RT~350℃
厚度不均匀度(Nonuniformity of Film Thickness): ≤±5% (Φ80mm, Al)
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