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探针台-半导体参数测量仪
型 号（Model）: PM5+Keithley 4200 SCS
生产商（Manufacturer): SUSS+Keithley
用 途（Applicatio）: 用于半导体参数及器件特性测试(To measure the parameters of semiconductors and devices)
主要参数（Main Parameters):
I-V measurement: 0.1fA~100mA; 1mV~200V; 4 SMU unit
C-V measurement: 20Hz ~2MHz
Hall...
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JGP450型高真空溅射系统
型号（Model）：JGP450
生产商（Manufacturer）：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
用途（Applications）：用于氧化物以及金属薄膜的制备（To fabricate oxide and metal thin films）
主要参数（Main Parameters）：
极限真空度（Ultimate pressure）：6×10-6 Pa
最高加热温度（Substrate temperature）：...
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紫外光刻机
型 号（Model）: ABM/6/350/NUV/DCCD/M
生产商（Manufacturer): ABM Inc.
用 途（Applicatio）:
用于将涂有光刻胶的晶片与掩膜的对准，然后曝光，将掩膜的图形转移到晶片的光刻胶上。
Used for aligning masks on wafers with photo-resist.
主要参数（Main Parameters):
Source：350W NUV Hg lamp，365nm，400nm，...
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光谱型椭偏仪
型 号（Model）: M-2000DI
生产商（Manufacturer): J.A.Woollam Co.,Inc.
用 途（Applicatio）:
单层或多层薄膜的厚度和光学常数的测定.
Used for measuring the thickness and optical constants of transparent or semi-transparent single film or multilayer.
主要参数（Main Parameters):
波长范围（Wavelength...
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高精度平面研磨机
厂商：舟山盛兴机械有限公司
型号：MS-6Sj型
技术参数：
研磨盘尺寸：Φ380*Φ140*25
最大加工物径：Φ112mm
最小加工物厚：0.1mm
加工精度： 平面度 0.001mm
厚度差 0.003mm
表面粗糙度 0.2μm
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