用激光脉冲沉积法在铂薄膜上制备了自支撑PZT薄膜。与衬底束缚的PZT薄膜相比，自支撑PZT薄膜的饱和和剩余极化强度分别增加了18%和21%。此外，自支撑PZT薄膜还有更高的介电调谐能力和铁电畴尺寸。本研究提出了一种制备柔性铁电薄膜的制备方法，对于研究铁电/铁磁复合多铁性薄膜的磁电耦合效应具有重要意义。

论文发表在J. Phys. D: Appl. Phys. 45 185302 (2012)，该研究工作获得国家自然科学基金(10904156, 11174302)、国家重点基础研究项目(2012CB933004)浙江省公益性技术应用研究计划项目(2010C31041)和宁波科技创新团队(2011B82004, 2009B21005)等项目支持。

自支撑PZT薄膜的制备工艺路线